專業(yè)的潔凈室自動(dòng)化技術(shù)

時(shí)間：2015-03-13 10:26:43

[導(dǎo)讀]Festo 的許多標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品可專用于潔凈室。25年多來(lái)，F(xiàn)esto 一直在進(jìn)行微粒測(cè)試，以確定標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品在潔凈室中的適用性。有 80 多個(gè)系列的電驅(qū)動(dòng)和氣動(dòng)自動(dòng)化產(chǎn)品適用于潔凈室等級(jí)6及以上標(biāo)準(zhǔn)。也就意味著，我們可為半導(dǎo)體..

Festo 的許多標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品可專用于潔凈室。

25年多來(lái)，F(xiàn)esto 一直在進(jìn)行微粒測(cè)試，以確定標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品在潔凈室中的適用性。有 80 多個(gè)系列的電驅(qū)動(dòng)和氣動(dòng)自動(dòng)化產(chǎn)品適用于潔凈室等級(jí)6及以上標(biāo)準(zhǔn)。也就意味著，我們可為半導(dǎo)體和電子元件生產(chǎn)以及實(shí)驗(yàn)室自動(dòng)化和制藥生產(chǎn)的大多數(shù)自動(dòng)化任務(wù)提供解決方案。

潔凈室適用性： Festo 按 VDI 2083-9 .1 標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)試，并按 ISO 14664-1標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分級(jí)。

幾乎所有運(yùn)動(dòng)過(guò)程都會(huì)因摩擦而釋放些許微粒。人眼無(wú)法看見(jiàn)這些微粒，但在某些生產(chǎn)環(huán)境中，這些微�？赡軙�(huì)造成生產(chǎn)的產(chǎn)品出現(xiàn)缺陷。一微米大小的微粒會(huì)對(duì)半導(dǎo)體元件內(nèi)敏感的電路造成干擾。

通過(guò)獨(dú)立的機(jī)構(gòu)進(jìn)行測(cè)試

斯圖加特的弗勞恩霍夫制造工程和自動(dòng)化研究院(Fraunhofer IPA)為標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)了針對(duì)性測(cè)試程序。Festo 在南洋理工大學(xué)的幫助下在 Festo 新加坡公司的潔凈室技術(shù)研究中心專注于研究潔凈室技術(shù)。

在Festo 產(chǎn)品高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)上，由自動(dòng)化技術(shù)制造商提供的所有產(chǎn)品范圍都適用于潔凈室等級(jí) 7 … 9。此外，F(xiàn)esto 在標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品中選取了一部分特定產(chǎn)品進(jìn)行了測(cè)試，以確定這些產(chǎn)品在潔凈室的適用性。這些產(chǎn)品的覆蓋面足以滿足多數(shù)自動(dòng)化解決方案。超過(guò) 80 個(gè)系列的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品可用于 ISO 潔凈室等級(jí) 6、5，甚至等級(jí) 4。這些產(chǎn)品隨時(shí)隨地都可買到。潔凈室產(chǎn)品概覽樣本下載鏈接：www.festo.com/supportportal，選型更可靠方便。

無(wú)需特殊設(shè)計(jì)

因?yàn)槟壳叭匀粵](méi)有標(biāo)準(zhǔn)化的潔凈室國(guó)際指令，F(xiàn)esto 根據(jù)德國(guó) VDI 2083-9.1標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的程序進(jìn)行微粒測(cè)試。隨后，根據(jù) ISO 14664-1標(biāo)準(zhǔn)所定義的潔凈室等級(jí)給測(cè)試的產(chǎn)品進(jìn)行分級(jí)。

根據(jù)測(cè)試結(jié)果顯示，測(cè)試產(chǎn)品在潔凈室條件下使用時(shí)質(zhì)量仍然很高，客戶通常不再需要復(fù)雜的特殊設(shè)計(jì)。Festo 為更高的標(biāo)準(zhǔn)，如ISO 等級(jí) 1 … 3，可相應(yīng)地修改標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，也可提供定制化的特殊解決方案。

直接測(cè)量微粒

VDI 2083-9.1標(biāo)準(zhǔn)中的微粒直接測(cè)量法用于測(cè)試產(chǎn)品，以確定產(chǎn)品在潔凈室條件下的適用性。Festo 參與了 VDI 標(biāo)準(zhǔn)的起草，自2006年底該標(biāo)準(zhǔn)頒布后，一直在用該標(biāo)準(zhǔn)定義的程序進(jìn)行測(cè)試。通過(guò)直接測(cè)量法，對(duì)于一個(gè)測(cè)試物體有很大可能出現(xiàn)微粒的關(guān)鍵區(qū)域首先進(jìn)行識(shí)別，如氣缸活塞桿密封件周圍的區(qū)域。

這要求在一個(gè)“微環(huán)境”中用一個(gè)探針對(duì)測(cè)試物體進(jìn)行掃描，并再現(xiàn)ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)中所定義的潔凈室等級(jí)3 的條件。在氣缸以80%的最大許用負(fù)載進(jìn)行運(yùn)動(dòng)時(shí)，對(duì)由摩擦產(chǎn)生的微粒濃度測(cè)量 100 分鐘。周詳?shù)臏y(cè)試確保測(cè)試產(chǎn)品完全可用于潔凈室條件。測(cè)試的精確度為客戶潔凈室生產(chǎn)的高可靠性提供了長(zhǎng)期保證。

非常適用于潔凈室的產(chǎn)品：

平面門架 EXCM (ISO 5)

電缸 EGC-BS (ISO5)

小型滑臺(tái)式氣缸DGSL (ISO 5)

緊湊型氣缸 ADN (ISO4)

通過(guò)直接測(cè)量法，在測(cè)試物體上的關(guān)鍵區(qū)域直接進(jìn)行測(cè)量。

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