[導讀]極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項，簡稱IC裝備專項，屬于電子信息板塊。該專項的主要任務是實現(xiàn)IC制造核心裝備和制造工藝的突破，支撐我國IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。IC裝備專項由北京市、上海市牽頭組織實施，是唯一一個
極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項，簡稱IC裝備專項，屬于電子信息板塊。該專項的主要任務是實現(xiàn)IC制造核心裝備和制造工藝的突破，支撐我國IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
IC裝備專項由北京市、上海市牽頭組織實施，是唯一一個由地方政府牽頭組織實施的重大專項，通過一系列創(chuàng)新管理制度的建立，充分發(fā)揮地方政府作用，引導資源聚集，改善產(chǎn)業(yè)環(huán)境。同時，注重創(chuàng)新投入機制，引導多元化投入。
在專項實施前，IC制造前工序和封測的生產(chǎn)線的所有裝備以及配套材料基本都依賴進口，嚴重制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展。專項為此提出“掌握核心技術(shù)、開發(fā)關(guān)鍵產(chǎn)品、支撐產(chǎn)業(yè)發(fā)展”的宗旨，注重整體設計、長遠布局、重點突破、構(gòu)建體系，提出培育一批“世界級企業(yè)”、實現(xiàn)與世界同步發(fā)展的戰(zhàn)略目標。
“十一五”期間，該專項重點針對65—45納米技術(shù)代進行系統(tǒng)性布局，取得創(chuàng)新性突破。北京北方微電子公司研制的“12吋65nm柵刻蝕機”，和北京中科信公司研制的“12吋離子注入機”，目前都已經(jīng)在中芯國際生產(chǎn)線進行考核，指標達到了國外同類產(chǎn)品水平。上海中微半導體公司研制的“12吋65nm介質(zhì)刻蝕機”向臺灣、韓國、日本銷售訂單已有20多臺。上海微電子裝備公司研發(fā)的步進投影式光刻機，已經(jīng)成功進入江陰長電的先進封裝生產(chǎn)線，實現(xiàn)了我國光刻機產(chǎn)品的重大突破。
IC裝備專項在工藝方面也取得了重大突破。中芯國際自主研發(fā)的“65nm低漏電產(chǎn)品工藝”已實現(xiàn)量產(chǎn)，45nm工藝正在做量產(chǎn)準備。上海華虹、宏力、無錫華潤一批特色產(chǎn)品工藝、以及專項研制的部件和材料產(chǎn)品實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化集群發(fā)展。
在組織實施過程中，專項進行了機制創(chuàng)新的嘗試，提出了“市場考核產(chǎn)品、應用考核技術(shù)、整機考核部件”的新考核方式。并在專項實施“舉國體制”方面取得經(jīng)驗：圍繞產(chǎn)業(yè)鏈組織多部門、多地區(qū)聯(lián)合攻關(guān)的“大兵團”作戰(zhàn)，系統(tǒng)性組織項目實施。其中“封測關(guān)鍵設備、材料應用工程”項目依托龍頭封裝廠，聯(lián)合國內(nèi)數(shù)十家封測裝備、材料廠商，通過兩年時間成功研制出裝片機、鍵合機等23種關(guān)鍵封測設備、5種封測材料，進行嚴格的大生產(chǎn)考核，經(jīng)多輪改進，真正滿足大生產(chǎn)線的技術(shù)要求，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化。
目前，共有1萬多名科技人員參與IC裝備專項，其中中高級研發(fā)人員占52%。專項還吸引了195名具有高端產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)驗和國際化市場運作能力的海外留學歸國人員和團隊參與。其中，通過“千人計劃”引進22位海外高層次人才，極大地提高了國內(nèi)的研發(fā)能力和產(chǎn)業(yè)化水平。
此外，在“十一五”啟動的58個項目中，企業(yè)牽頭項目40個，占到總數(shù)的69%，體現(xiàn)了以企業(yè)為主體打造創(chuàng)新體系的宗旨。累計申請專利4248項，其中發(fā)明專利3667項，已經(jīng)授權(quán)發(fā)明專利384項。
IC裝備專項還注重發(fā)揮產(chǎn)業(yè)帶動作用。由于基本工藝原理相似，IC制造技術(shù)還輻射帶動了太陽能電池、LED照明、TFTLCD顯示屏等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對于我國推進戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整，具有重要的促進作用。
IC裝備專項由北京市、上海市牽頭組織實施，是唯一一個由地方政府牽頭組織實施的重大專項，通過一系列創(chuàng)新管理制度的建立，充分發(fā)揮地方政府作用，引導資源聚集，改善產(chǎn)業(yè)環(huán)境。同時，注重創(chuàng)新投入機制，引導多元化投入。
在專項實施前，IC制造前工序和封測的生產(chǎn)線的所有裝備以及配套材料基本都依賴進口，嚴重制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展。專項為此提出“掌握核心技術(shù)、開發(fā)關(guān)鍵產(chǎn)品、支撐產(chǎn)業(yè)發(fā)展”的宗旨，注重整體設計、長遠布局、重點突破、構(gòu)建體系，提出培育一批“世界級企業(yè)”、實現(xiàn)與世界同步發(fā)展的戰(zhàn)略目標。
“十一五”期間，該專項重點針對65—45納米技術(shù)代進行系統(tǒng)性布局，取得創(chuàng)新性突破。北京北方微電子公司研制的“12吋65nm柵刻蝕機”，和北京中科信公司研制的“12吋離子注入機”，目前都已經(jīng)在中芯國際生產(chǎn)線進行考核，指標達到了國外同類產(chǎn)品水平。上海中微半導體公司研制的“12吋65nm介質(zhì)刻蝕機”向臺灣、韓國、日本銷售訂單已有20多臺。上海微電子裝備公司研發(fā)的步進投影式光刻機，已經(jīng)成功進入江陰長電的先進封裝生產(chǎn)線，實現(xiàn)了我國光刻機產(chǎn)品的重大突破。
IC裝備專項在工藝方面也取得了重大突破。中芯國際自主研發(fā)的“65nm低漏電產(chǎn)品工藝”已實現(xiàn)量產(chǎn)，45nm工藝正在做量產(chǎn)準備。上海華虹、宏力、無錫華潤一批特色產(chǎn)品工藝、以及專項研制的部件和材料產(chǎn)品實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化集群發(fā)展。
在組織實施過程中，專項進行了機制創(chuàng)新的嘗試，提出了“市場考核產(chǎn)品、應用考核技術(shù)、整機考核部件”的新考核方式。并在專項實施“舉國體制”方面取得經(jīng)驗：圍繞產(chǎn)業(yè)鏈組織多部門、多地區(qū)聯(lián)合攻關(guān)的“大兵團”作戰(zhàn)，系統(tǒng)性組織項目實施。其中“封測關(guān)鍵設備、材料應用工程”項目依托龍頭封裝廠，聯(lián)合國內(nèi)數(shù)十家封測裝備、材料廠商，通過兩年時間成功研制出裝片機、鍵合機等23種關(guān)鍵封測設備、5種封測材料，進行嚴格的大生產(chǎn)考核，經(jīng)多輪改進，真正滿足大生產(chǎn)線的技術(shù)要求，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化。
目前，共有1萬多名科技人員參與IC裝備專項，其中中高級研發(fā)人員占52%。專項還吸引了195名具有高端產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)驗和國際化市場運作能力的海外留學歸國人員和團隊參與。其中，通過“千人計劃”引進22位海外高層次人才，極大地提高了國內(nèi)的研發(fā)能力和產(chǎn)業(yè)化水平。
此外，在“十一五”啟動的58個項目中，企業(yè)牽頭項目40個，占到總數(shù)的69%，體現(xiàn)了以企業(yè)為主體打造創(chuàng)新體系的宗旨。累計申請專利4248項，其中發(fā)明專利3667項，已經(jīng)授權(quán)發(fā)明專利384項。
IC裝備專項還注重發(fā)揮產(chǎn)業(yè)帶動作用。由于基本工藝原理相似，IC制造技術(shù)還輻射帶動了太陽能電池、LED照明、TFTLCD顯示屏等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對于我國推進戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整，具有重要的促進作用。
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