第二天，在天氣晴朗、萬(wàn)里無(wú)云的早晨，我抵達(dá)了MEMS晶圓制造商O(píng)kmetic Oyj公司。

Okmetic 公司位在芬蘭的Vantaa。該地目前也正在發(fā)揮群聚效應(yīng)。

在這里，我見(jiàn)到了Okmetic公司的兩位高階主管：

資深產(chǎn)品副總裁Anna-Riikka Vuorikari-Antikainen，以及資深研究副總裁Markku Tilli。

從單晶矽到石墨烯

在與Okmetic CEO Kai Seikku和他的團(tuán)隊(duì)進(jìn)行訪談時(shí)，我們可以看到Okmetic將單晶矽切成矽晶圓的擺設(shè)。

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Okmetic公司會(huì)議室的擺設(shè)之一。

這次訪談中，Okmetic也談到了該公司最近開(kāi)始外包晶圓生產(chǎn)的策略(請(qǐng)見(jiàn)MEMS wafer maker Okmetic outsources amid SOI push )，并說(shuō)明了當(dāng)?shù)馗浇谥饾u形成的MEMS聚落包含了哪些單位。

赫爾辛基周邊的MEMS聚落包括Aalto大學(xué)和VTT研究中心。另外，一些嶄新的材料，如石墨烯，也預(yù)計(jì)將在未來(lái)的MEMS發(fā)展中發(fā)揮作用。

赫爾辛基的夜晚

Okmetic 的Anna-Riikka Vuorikari-Antikainen、芬蘭VTT Technical Research Centre的研發(fā)副總裁Jussi Tuovinen；還有Murata Electronics Oy的產(chǎn)品開(kāi)發(fā)經(jīng)理Anssi Blomqvist和我，一起花了點(diǎn)時(shí)間游覽了赫爾辛基市區(qū)。

這是由雕塑家Felix Nylund 在1932年發(fā)表的著名「三鐵匠」(Three Smiths)雕像。對(duì)面是赫爾辛基最有名的百貨公司Stockmann。

老字號(hào)的卡貝里咖啡館(Kappeli coffee)曾是令十九世紀(jì)作曲家Jean Sibelius流連忘返的地方，Jussi Tuovinen表示，Kappeli不但是學(xué)生們熱愛(ài)的聚會(huì)地點(diǎn)，芬蘭的獨(dú)立思想也誕生于此地。

[!--empirenews.page--]眺望包含了瑞典堡壘和赫爾辛基海港的小島。

ByeBye~~VTI； Hi，村田！

為什么？為什么芬蘭的飯店不能用厚一點(diǎn)的窗簾把光給遮住？答案很簡(jiǎn)單，因?yàn)檫@樣一來(lái)，無(wú)論當(dāng)?shù)鼐用窕蚴怯慰停伎梢愿惺艿搅璩咳c(diǎn)直射房?jī)?nèi)的熾熱夏天陽(yáng)光。

接著，我來(lái)到已經(jīng)被村田制作所收購(gòu)的VTI Technologies Oy公司，該公司現(xiàn)已正式更名為Murata Electronics Oy 。

村田在Vantaa的MEMS制造廠。

Murata Electronics Oy公司總裁Tsuneo Murata自該公司更名第一天起就長(zhǎng)駐此地。我曾經(jīng)采訪過(guò)他，并寫(xiě)過(guò)一篇有關(guān)村田希望從MEMS朝物聯(lián)網(wǎng)(Internet of Things, IoT)擴(kuò)展的文章。

在村田Vantaa公司大廳內(nèi)展示的村田男孩(Murata-boy)，它能夠平衡地騎在自行車(chē)上。

VTT和芬蘭的MEMS聚落

現(xiàn)在，我的芬??蘭MEMS聚落巡禮來(lái)到了最后一站──位在Espoo的芬蘭VTT技術(shù)研究中心(VTT Technical Research Centre of Finland)。

這座微奈米研究中心(Micronova)包含了150mm-/200mm晶圓廠，用來(lái)支援VTT和Aalto University的多個(gè)研究專(zhuān)案。

[!--empirenews.page--]另外，一家名為VTT Memsfab Ltd.,的小型代工廠也會(huì)利用這座晶圓廠來(lái)提供服務(wù)。VTT Memsfab成立于2011年1月，隸屬于VTT集團(tuán)旗下。

VTT在MEMS元件的研究方面素負(fù)盛名。VTT的高性能微系統(tǒng)專(zhuān)案領(lǐng)導(dǎo)人Aarne Oja教授負(fù)責(zé)研究矽薄膜MEMS麥克風(fēng)；另外還有資深研究科學(xué)家Jarkko Antila專(zhuān)長(zhǎng)于光學(xué)元件和測(cè)量技術(shù)。Antila也談到了如何使用基于法布里-珀羅干涉儀(Fabry-Perot Interferometry)原則的MEMS技術(shù)來(lái)開(kāi)發(fā)光學(xué)感測(cè)器。

最后，Jussi Tuovinen表示，MEMS領(lǐng)域的所有參與者都應(yīng)該強(qiáng)化合作關(guān)系。過(guò)去幾年來(lái)，我們已經(jīng)看到所謂的異構(gòu)技術(shù)聯(lián)盟(Heterogeneous Technology Alliance, HTA)成立，近年來(lái)更看到VTT和瑞士CSEM、德國(guó)Fraunhofer研究院，以及法國(guó)CEA-Leti的合作。Tuovinen接著指出，目前HTA已經(jīng)擁有一個(gè)通用的SOI-MEMS平臺(tái)。

Tuovinen同時(shí)談到了MEMScat計(jì)畫(huà)，該計(jì)畫(huà)旨在促成芬蘭建構(gòu)出完整的MEMS生態(tài)系統(tǒng)。這項(xiàng)計(jì)畫(huà)的主要目的是盡量協(xié)助新創(chuàng)公司，降低開(kāi)發(fā)相關(guān)產(chǎn)品及系統(tǒng)的成本和門(mén)檻。此外，MEMScat計(jì)畫(huà)的另一個(gè)目標(biāo)，則是吸引更多企業(yè)、創(chuàng)業(yè)家和工程人員到芬蘭的MEMS 聚落尋找夢(mèng)想。

芬蘭的MEMS價(jià)值鏈。/ 資料來(lái)源：VTT技術(shù)研究中心

如果我是企業(yè)家或工程師，我會(huì)想去赫爾辛基開(kāi)拓我的MEMS業(yè)務(wù)嗎？是的，不過(guò)，他們得先裝上厚一些的窗簾。