在1KHz的自然共振頻率下,新的 MEMS 能量采集器最大輸出功率低于500微瓦(microwatt)。在每小時40英哩時速下,汽車輪胎能源產生的能量大約僅比40微瓦多出一些,不過,IMEC表示這已經足夠為壓力感測器和TPMS系統(tǒng)的無線通訊電路供電了。
這個MEMS能源采集器包含一個具有壓電層(氮化鋁)夾層的懸臂支架,這個壓電層夾在金屬電極之間形成一個電容器。一個質量塊(mass)連接到懸臂的一端,使其成為可隨著壓電層彎曲而將振動轉換為電能的轉換器。電容兩端的電壓也能被采集,用來驅動無線電路。
IMEC已經證實,這種微型能源采集器可在6寸晶圓上用真空制程來制造。IMEC預測,其MEMS能源采集器將在許多應用中被用于無線感測器節(jié)點,這類應用包括汽車引擎到工業(yè)應用等,其共同特點是電池都不大方便充電。
MEMS 能源采集器可采集輪胎內部振動產生的能量,打造出免用電池的胎壓感測器。
編譯: Joy Teng
(參考原文: MEMS chip enables battery-free sensors,by R. Colin Johnson)





