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[導讀]隨著各種高階MENS、3D IC、TSV等封裝技術的應用愈來愈廣,半導體封裝設備的關鍵性也愈來愈重要。在2013年的SEMICON Taiwan展覽中,知名半導體制程設備代理商巨沛公司(Jipal),就將于展場展出一系列最新的高階封裝解決

隨著各種高階MENS、3D IC、TSV等封裝技術的應用愈來愈廣,半導體封裝設備的關鍵性也愈來愈重要。在2013年的SEMICON Taiwan展覽中,知名半導體制程設備代理商巨沛公司(Jipal),就將于展場展出一系列最新的高階封裝解決方案,展覽攤位為世貿(mào)南港展覽館4F、M-1050。

巨沛執(zhí)行副總經(jīng)理翁詩明表示,受惠于今年上半年度開始延續(xù)至今的手持行動裝置強烈需求,巨沛旗下所代理的設備都有相當突出的表現(xiàn),其中代表性的黏晶機產(chǎn)品Hitachi Die Bonder(Hitachi DB),在智慧型手機需求加持之下,Hitachi DB普遍被采用在高階的MEMS、Flash memory與Mobil RAM的生產(chǎn),目前已在臺灣擁有最高的市占率。


巨沛代理引進HitachiDieBonderDB-820。
也由于Hitachi DB的超高穩(wěn)定性及巨沛強而有力的行銷與售后服務協(xié)助下,Hitachi DB連續(xù)4年獲得VLSI CS調(diào)查評比的第1名,多年來在各客戶的支持下,Hitachi DB預計將于9月底達到12寸Die Bonder全世界出貨3,000臺的里程碑,其中巨沛所負責的臺灣和大陸區(qū)域約占70%之多。

在2013年的臺灣半導體展中,巨沛將展出升級版Hitachi DB,具備晶片厚度25um以下的Pick & Place與精確度+/-10um的能力,針對越來越薄的晶片厚度,在Wafer & Substrate傳送處備有Cleaning Unit,整體機臺并備有Hepa的Anti-particle設計,將充分滿足Flash Memory、Mobile RAM與TFBGA未來2至3年的發(fā)展趨勢需求。

此外,在巨沛代理的Towa Auto Mold System方面,最新的產(chǎn)品Compression Molding技術,挾其優(yōu)越性能如No Resin Flow、High Performance Vacuum Capability for Void Free及封裝最薄厚度可達到0.15mm,且晶片表面和封裝表面間隙可小至0.02mm,亦因為Compression Molding技術可抑制成型后的Substrate Warpage的優(yōu)越性能。因此,近幾年來陸續(xù)被使用在高階MEMS、Flash Memory、Mobile RAM、Flip Chip、MUF、WLCSP、3D等等封裝上,對于終端產(chǎn)品要達到更薄、更多工的封裝要求,以及下一世代封裝技術的挑戰(zhàn),提供強而有力的協(xié)助。

而在Aurigin Ball Mounter方面,隨著封裝技術成本下降與封裝功能不斷增加的考量下,大寬版的基板(Substrate)已逐漸成為主流,對植球機的Ball Size、Ball Pitch、Warpage的Handle能要求更形嚴苛,近幾年成為全球市場居領導地位的Aurigin Ball Mounter已是客戶的最佳選擇。

在新產(chǎn)品方面,隨著TSV Cu Pillar與Micro Bump的成熟,漸漸成為高階封裝主流之時,對于TSV Cu Pillar與Micro bump的品質(zhì)控管已成為不可輕忽課題。巨沛因應這樣的需求和HHT/MARS TOHKEN合作開發(fā)出業(yè)界最早全自動的12寸Wafer X-Ray Inspection MC-- TUX8000。

TUX8000擁有半導體業(yè)界最高0.4um(0.1um by option)X-Ray解析度可檢查1um的Micro Void & Crack,運用范圍含括3D Package、Sip Hybrid、Cu Pillar針對不良品預防氣洞、Non-wedding、Conduct Bridge異常可提前檢出避免大惡化,尤其未來針對客戶高階Fine Pitch Micro Bump 10um以上的運用,更是最佳方案選擇者。TUX8000檢驗設備已受到一線半導體廠青睞使用,協(xié)助品質(zhì)把關。




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