英特爾(Intel)投資設(shè)備商 ASML 公司 41億美元的舉動(dòng)，跟在餐廳侍者上菜前就先付賬的做法沒有什么不同。但 ASML 有理由這樣做。10年前，當(dāng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)開始從200mm晶圓過渡到300mm晶圓時(shí)，芯片制造商們便說服工具供貨商來為新制程的研發(fā)買單，并承諾他們將憑 借著強(qiáng)勁的芯片銷售來回饋給新系統(tǒng)。然而，當(dāng)網(wǎng)絡(luò)泡沫來臨時(shí)，他們卻溜之大吉，更大的意外是──芯片制造商決定推遲部署300mm產(chǎn)能。

可想而知許多設(shè)備界的高層有多痛苦了。特別是幾年前，芯片制造商又談?wù)摮?50mm晶圓轉(zhuǎn)移的談話之際。

許多人打從一開始就對450mm能否成真抱持懷疑態(tài)度?，F(xiàn)在看來，450mm是不可避免的，盡管傳統(tǒng)的看法都認(rèn)為只有少數(shù)幾家芯片制造商──特別是英特爾(Intel)、三星電子(Samsung Electronics)、臺(tái)積電(TSMC)和 Globalfoundries 等公司有能力建造450mm生產(chǎn)線。

而 且，從提出450mm開始，業(yè)界就充斥著許多辯論，包括工具供貨商和他們的客戶將如何分配轉(zhuǎn)移到新晶圓尺寸的相關(guān)研發(fā)成本。市調(diào)機(jī)構(gòu) Gartner 的分析師Bob Johnson本周說，450mm的累計(jì)研發(fā)成本將達(dá)170億美元，而今年度大約占20億美元。而其它機(jī)構(gòu)則有各式各樣不同的預(yù)估數(shù)字。

一 些剛萌芽的研究項(xiàng)目正在努力進(jìn)行研發(fā)，其中包括由英特爾(Intel)、三星電子(Samsung Electronics)、臺(tái)積電(TSMC)和 Globalfoundries等芯片巨擘共同組成，耗資48億美元的「全球450聯(lián)盟(Global 450 Consortium)」在內(nèi)。
但 對部份工具制造商來說，這些遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。微影設(shè)備供貨商 ASML Holding NV公司眼見450mm一再延宕的困境。要轉(zhuǎn)移到450mm，將會(huì)需要全新的微影設(shè)備，以及可支持更大尺寸、重量更重的晶圓，而不會(huì)發(fā)生震動(dòng)的載臺(tái)，以避 免因震動(dòng)而導(dǎo)致無法作出精確的微影曝光。 ASML 公司已經(jīng)預(yù)見到，僅有少數(shù)芯片制造商會(huì)購買新工具，投資報(bào)酬率將非常有限。

當(dāng)然，ASML早已投入450mm晶圓的研發(fā)，但這是在該公司激活一個(gè)創(chuàng)新的客戶合作計(jì)劃，要求希望轉(zhuǎn)移到450mm晶圓，以及獲得超紫外光(EUV)微影技術(shù)的芯片制造商，也共同投入新技術(shù)的研發(fā)。

本 周一(7月9日)，英特爾宣布以41億美元收購ASML公司15%股份，加快450mm和EUV技術(shù)發(fā)展。其中除了超過30億美元是用在收購ASML股份 外，英特爾也針對新技術(shù)的開發(fā)挹注10億美元。當(dāng)然，英特爾也承諾將進(jìn)一步采購450mm和EUV技術(shù)的開發(fā)和生產(chǎn)工具。

三星、臺(tái)積電必須買單

ASML 還將再出售另外10%的股份給其它希望發(fā)展450mm晶圓和EUV微影工具的芯片制造商。該公司目前正在和三星、臺(tái)積電討論。若這些公司拒絕或同意參與， 但并未買下10%股份，ASML公司仍愿意出售剩余部份，并將邀請其它公司加入。 (由于ASML訂定的條款，英特爾的股份收購上限為15%。)

整件事看起來，確實(shí)像上餐前就先把賬給付掉。但ASML有理由這樣做。 ASML不會(huì)在錢沒到位以前就先投資450mm。由于ASML在微影市場舉足輕重，因此沒有ASML投入，450mm就很難發(fā)展。

在 朝450mm 轉(zhuǎn)移的過程中，英特爾將獲得最大利益。該公司財(cái)務(wù)長Stacy Smith表示，預(yù)計(jì)轉(zhuǎn)移到450mm將為英特爾節(jié)省超過100億美元的制造成本。因此，英特爾只要求ASML報(bào)出價(jià)錢，毫無疑問，財(cái)大氣粗的英特爾也將 讓想轉(zhuǎn)移到450mm和EUV微影技術(shù)的競爭對手獲益，因?yàn)樽罱K他們也能獲得相關(guān)工具。
英特爾已經(jīng)買下15%股份了。即使英 特爾是唯一一家入股ASML，直接支持其技術(shù)發(fā)展的芯片公司，這家全球最大的芯片制造商也將在每一次競爭對手掏出支票簿來準(zhǔn)備購買新工具時(shí)，搶先一步贏得 先機(jī)。ASML公司發(fā)言人表示，英特爾態(tài)度非常堅(jiān)定，因?yàn)樗麄兛吹搅碎_發(fā)這些技術(shù)的利益所在。

無論是三星、臺(tái)積電，或是任何 其它的芯片供貨商會(huì)入股ASML公司都有待觀察。入股ASML確實(shí)有些好處，特別是在英特爾也投下鉅資之際，毫無疑問，ASML必然會(huì)開發(fā)450mm工具 (還有EUV，盡管該技術(shù)距離成熟還很遙遠(yuǎn))。一旦ASML的工具準(zhǔn)備就緒，包括三星、臺(tái)積電和其它任何想跟進(jìn)的廠商，都得付錢購買新工具。

但三星和臺(tái)積電將做出明智抉擇，并將參與其中。當(dāng)450mm工具就緒時(shí)，領(lǐng)先的芯片制造商將會(huì)立即需要它們。如果三星和臺(tái)積電放棄這個(gè)機(jī)會(huì)，他們獲得新工具的順序就會(huì)排在英特爾之后了。

英 特爾已經(jīng)獲得15%的ASML股權(quán)，三星和臺(tái)積電也都有可能出資買下其它可出售股份，不過這些都是無投票權(quán)股份。依常理來看，當(dāng)客戶真的決定對設(shè)備商挹注 研發(fā)資金共同開發(fā)新技術(shù)時(shí)，他們通常會(huì)大加宣揚(yáng)。三星、臺(tái)積電和任何其它可能投資的公司若再不展開行動(dòng)，屆時(shí)就可能會(huì)發(fā)現(xiàn)自己被拒于新技術(shù)的門外。

編譯： Joy Teng