全球領先的真空設備、尾氣處理設備和相應服務的供應商Edwards公司宣布達到具有重大意義的里程碑——自20年前進入市場以來，公司銷售的尾氣處理系統(tǒng)超過了1萬臺。此外，在VLSI Research針對半導體和平板顯示器產業(yè)的報告——2011年前十大關鍵分系統(tǒng)供應商(Top 10 Suppliers of Critical Subsystems 2011)中，Edwards公司排名第二(詳見注釋)。
Edwards排氣管理系統(tǒng)產品經理Steve Cottle稱：“業(yè)界對環(huán)境和氣候變化日益關心，這促使人們更多地意識到，需要減少排放各種可能的有害工業(yè)副產品。例如，2011年我們應用于客戶設施的系統(tǒng)負責減少了大約850萬公噸的二氧化碳排放，相當于英國全部工業(yè)工藝，全年度二氧化碳凈排放的98%?！?BR>VLSI Research(歐洲)CEO John West表示：“2011年對于關鍵分系統(tǒng)供應商是創(chuàng)紀錄的一年。銷售額增長9.3%，達到78.8億美元。產業(yè)發(fā)展的主要推動力是對于32nm以及以下工藝半導體制造設備的資本投入?！?BR>Edwards所銷售的大部分尾氣處理系統(tǒng)一直是公司的內向火焰燃燒室(inward fired combustor)產品系列，包括TPU以及Atlas系列產品。由于這些系統(tǒng)具有經過生產驗證的性能和極高的可靠性，在過去十年里，Edwards的內向火焰燃燒室產品已經成為最暢銷的燃燒尾氣處理系統(tǒng)。
在地域方面，美國仍然是Edwards公司這些系統(tǒng)的最大市場。然而，亞太地區(qū)的高科技制造快速增長且環(huán)保法規(guī)要求日益嚴格，二者結合推動Edwards在亞太地區(qū)實現顯著增長。
Cottle補充說：“我們一方面非常高興達到這個重要的里程碑，同時也對通過減少有害溫室氣體排放而改善環(huán)境而感到自豪?！?