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[導讀]就目前國際半導體制造工藝成熟與否而言,65nm應該是個公認的分界點,畢竟進入65nm以下技術節(jié)點者已大為減少,而以中芯國際為代表的中國半導體制造水平及能力,則剛完成65nm工藝的批量化生產(chǎn),另一條華力微65nm生產(chǎn)線

就目前國際半導體制造工藝成熟與否而言,65nm應該是個公認的分界點,畢竟進入65nm以下技術節(jié)點者已大為減少,而以中芯國際為代表的中國半導體制造水平及能力,則剛完成65nm工藝的批量化生產(chǎn),另一條華力微65nm生產(chǎn)線還在建設當中。而國際上半導體最新工藝已經(jīng)在向32/28nm挺進。

其實,中國半導體制造工藝不是在按摩爾定律的節(jié)奏在走,而是以WassenaarArrangement定的步調(diào)在發(fā)展,得到的永遠都是落后于最新技術1-2代工藝節(jié)點,這是我們自身無先進工藝開發(fā)能力,IC設計端沒有最新工藝需求,以及自身不具備設備、材料研制能力所決定的。

2010財年,中芯國際結束了公司IPO后5年來持續(xù)虧損的歷史。王寧國表示,未來5年中芯國際第一是要成為持續(xù)成長的國際型中國集成電路加工制造公司,第二是受惠于中國半導體工業(yè)鏈的發(fā)展,同時輔助中國建設集成電路的產(chǎn)業(yè)鏈。據(jù)悉,中芯國際前10名客戶中,中國本土公司已經(jīng)占到50%,對公司業(yè)務貢獻率已由2009年的21%提升至32%。

最能說明問題的是,王寧國認為,“未來三年是中芯國際的關鍵年,中芯國際必須在2010-2011年實現(xiàn)65/55納米制程量產(chǎn),2011-2012年完成45/40納米制程的小規(guī)模量產(chǎn),到2013-2014年32/28納米的制程也必須開始有量產(chǎn),這樣我們就可實現(xiàn)與世界先進水平的差距在18個月左右。”這個工藝水平的發(fā)展速度,同樣沒有超出Wassenaar Arrangement給設定的上限,中芯國際必需面對現(xiàn)實。

設備商新品上市,重點目標大都瞄向北美及中國大陸周邊地區(qū)。DEK大中華區(qū)總經(jīng)理黃俊榮認為,在亞洲的半導體市場中,日本、韓國、臺灣是比較高端的,日本地震造成的缺口自然就會轉(zhuǎn)到韓國和臺灣去,中國大陸還不是先進技術的最先應用之地。

從Foundry業(yè)者對中國市場需求的定位,也看出成熟工藝在中國才是現(xiàn)實的選擇。GLOBAL FOUNDRIES新加坡200mm制程總經(jīng)理Raj Kumar認為,今后將會有越來越多的IDM公司會轉(zhuǎn)向輕晶圓或者是無晶圓業(yè)務模式,這是Foundry發(fā)展的動力所在。200毫米的技術雖然說是成熟技術,但非??春盟脑鲩L:首先,現(xiàn)有的5英寸和6英寸的這些產(chǎn)能將會逐漸轉(zhuǎn)向200毫米晶圓,這是一個比較重要的潮流。另外,目前的200毫米產(chǎn)能當中,IDM自有的晶圓廠約占50%左右,但以后IDM這些晶圓廠的產(chǎn)能會外包出去,所以這也是一個推動200毫米產(chǎn)能增長的第二個重要原因。

Crossing Automation產(chǎn)品營銷副總裁徐玫(MaySu)表示,“基于200mm晶圓廠資本投資所具有的成本優(yōu)勢,許多制造廠現(xiàn)在希望能將標準機械化接口運用于既有工具系統(tǒng)上。而Crossing Automation的解決方案,剛好可將標準機械化接口應用于開放式晶圓匣工具上,使各式各樣200mm設備皆可為晶圓廠帶來標準機械化接口的優(yōu)勢。”

就市場需求而言,徐玫表示,在2010年被關掉的72條生產(chǎn)線中,有52條是150mm線,而在現(xiàn)有的200mm生產(chǎn)線中約有99%需要SMIF服務方案。

如TI的成都200mm生產(chǎn)線,一次就需要600臺左右產(chǎn)品,所以市場需求在未來幾年會持續(xù)保持旺盛。

中國大陸晶圓廠,已掌握200mm生產(chǎn)線的運作。據(jù)悉,新任中芯國際200mm營運中心主管的陳姓副總來自臺灣半導體界,用了近一年時間首先穩(wěn)定住了200mm營運團隊,并在此基礎上實現(xiàn)多項經(jīng)濟技術指標已達到世界一流200mm生產(chǎn)線水準,0.13微米技術節(jié)點每層光罩的成本已連續(xù)3個季度達到世界水平。而中芯國際天津廠,則是一位沒有任何海外留學背景的人在任廠長,已使天津廠連續(xù)3個季度被關鍵客戶評為全球排名第一的Foundry廠。

但200mm生產(chǎn)線要以獨特的工藝能力取勝。RajKumar表示,“在全球有200毫米生產(chǎn)線的公司很多,但是能做MEMS的公司并不多,因此我們非常希望能夠在這樣一個市場上擴大我們的領先優(yōu)勢。”RajKumar稱,盡管我們在200毫米MEMS方面也有不少競爭對手,但是真正能夠做到汽車電子級別的,應該說寥寥無幾。

據(jù)悉,GLOBAL FOUNDRIES在中國主要是希望能夠在增值市場上,也就是成熟節(jié)點上的高端應用上希望能夠有更多的中國用戶,而電源管理和RFID等方面將是GLOBAL FOUNDRIES主打的幾塊業(yè)務,“即綠色、節(jié)能技術,以及圍繞以應用為導向的制程技術,是GF今后在中國的發(fā)展方向”,Raj Kumar說。

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