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[導讀]屏東出現(xiàn)6.1級地震,臺南市最高震度達到五級,南科則達四級,半導體與面板產(chǎn)業(yè)震程都因為震度超出設(shè)計的防護震度、自動當機,奇美電廠區(qū)26日疏散員工。在南科設(shè)廠的臺積電、聯(lián)電、奇美電表示,目前正清查制程延誤及在

屏東出現(xiàn)6.1級地震,臺南市最高震度達到五級,南科則達四級,半導體與面板產(chǎn)業(yè)震程都因為震度超出設(shè)計的防護震度、自動當機,奇美電廠區(qū)26日疏散員工。在南科設(shè)廠的臺積電、聯(lián)電、奇美電表示,目前正清查制程延誤及在制品損失,尚無法判斷受影響的程度。

南科地震震度已達到機臺設(shè)備所設(shè)定的自動保護裝置的震度,廠區(qū)內(nèi)的半導體面板廠商機臺都出現(xiàn)自動斷電,廠商在檢查相關(guān)設(shè)備、機臺的狀況后,陸續(xù)恢復生產(chǎn),估計將影響一定程度的產(chǎn)量。

面板廠商而言,廠務人員指出,昨天的震度不致造成災損,敏感機臺如曝光機、濺鍍機等真空設(shè)備,若因地震自動啟動保護裝置關(guān)機,重新開機只需花約二小時,即可投入生產(chǎn)。但若地震時造成真空備設(shè)內(nèi)有破片、或是機臺的零組件損壞需更換,則要依序完成:降溫、處理、升溫等作業(yè),至少要花上一天的時間,會有制程延誤的損失。

奇美電財務長陳彥松指出,地震引發(fā)奇美電南科廠部份機臺啟動保護裝置關(guān)機,必需重新啟動,并未造成太大影響。

至于半導體晶圓廠,廠務人員表示,地震若達三級、四級以上,半導體制程設(shè)備機臺就會自動啟動保護裝置關(guān)機。

臺積電在南科有二座晶圓廠,臺積電處長孫又文表示,地震發(fā)生時,南科廠依規(guī)定做人員疏散約一小時,返回生產(chǎn)線清查無塵室均未受損。至于生產(chǎn)線上是否有在制晶圓受損尚待進一步評估。

聯(lián)電在南科也有12寸廠,聯(lián)電財務長劉啟東指出,地震沒有造成重大影響,但部份敏感機臺自動關(guān)機,需要重新啟動,無法評論損失。

竹科管理局副局長兼發(fā)言人杜啟祥及南科管理局長陳俊偉表示,沒有接獲任何園區(qū)事故通報,竹科及南科的水電供應無損,園區(qū)正常運作。

至于高雄部分,除了高捷短暫停駛之外,高屏地區(qū)各工業(yè)區(qū)未傳災情。

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