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晶圓注入為何會沿晶向走偏？充電損傷為何總落在薄柵上？
離子注入看似只是把劑量和能量打進晶圓，真正難控的是晶體本身會引導離子走向，而束流和絕緣結(jié)構(gòu)又會把額外電荷留在最脆弱的介質(zhì)上。軌跡偏移和充電損傷，往往同時埋下后續(xù)失效。
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