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基于FR4的電磁式掃描光柵微鏡結構優(yōu)化設計
掃描光柵微鏡的轉動結構通常設計成扭振系統(tǒng) ,通過扭轉梁實現(xiàn)微鏡轉動時的結構抗扭 。將扭轉梁設計成折疊形式 ,可以減小扭轉梁的抗扭剛度 ,但扭轉振型仍有可能未成為系統(tǒng)的一階主振型。因此 ,通過提高系統(tǒng)鏡板的轉動慣量和設置剛度調節(jié)棒 , 改進系統(tǒng)的振型模態(tài)分布 。最后 ,對優(yōu)化后結構進行了理論計算和基于ANSYS的有限元軟件仿真 , 結果均表明優(yōu)化后結構能有效改善微鏡的扭轉諧振特征。
