MEMS(Microelectromechanical Systems)微機電系統(tǒng),將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業(yè)技術,它的操作范圍在微米范圍內,能夠把力轉化成電信號。MEMS器件應用在手機,健身手環(huán)、打印機、汽車、無人機以及VR/AR頭戴式設備等日常電子產品中,MEMS在我們的生產生活可謂無處不在。
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