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器件制造

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  • 半導體先進制造設備發(fā)展趨勢與設備自主化狀況漫談

    半導體已經(jīng)進入原子級加工水平，在這個精度上進行半導體器件制造，需要集合50多個學科的知識與技術。而且，加工精度只是一個維度，良率對半導體制造生死攸關，因此均勻性、穩(wěn)定性、重復性、可靠性和潔凈性都很重要，先進半導體加工環(huán)節(jié)超過1000個，哪個環(huán)節(jié)出了問題，都難以制造出符合產(chǎn)品性能與良率要求的芯片。