半導(dǎo)體先進(jìn)制造設(shè)備發(fā)展趨勢(shì)與設(shè)備自主化狀況漫談

半導(dǎo)體已經(jīng)進(jìn)入原子級(jí)加工水平，在這個(gè)精度上進(jìn)行半導(dǎo)體器件制造，需要集合50多個(gè)學(xué)科的知識(shí)與技術(shù)。而且，加工精度只是一個(gè)維度，良率對(duì)半導(dǎo)體制造生死攸關(guān)，因此均勻性、穩(wěn)定性、重復(fù)性、可靠性和潔凈性都很重要，先進(jìn)半導(dǎo)體加工環(huán)節(jié)超過1000個(gè)，哪個(gè)環(huán)節(jié)出了問題，都難以制造出符合產(chǎn)品性能與良率要求的芯片。