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復享光學AR-Meta首次實現超構透鏡全面光學量測分析
近日，上海市科委“優(yōu)秀技術帶頭人”計劃的多個項目完成專家評審。該計劃旨在選拔和培養(yǎng)一批進入世界科技前沿的學術帶頭人和引領產業(yè)技術創(chuàng)新的技術帶頭人，促進其建設高水平科研梯隊和創(chuàng)新團隊，加快建設具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心。其中，由復享光學承擔的“超透鏡檢測分析設備的研制”項目通過專家組評審，順利結項。
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復享光學承擔的上海市2022年度“科技創(chuàng)新行動計劃” - 0909
本次復享光學承擔的項目，屬于“科學儀器研制開發(fā)”專題項目。該項目基于共焦拉曼光譜，發(fā)展面向GAA-FET制程檢測的拉曼光譜技術，探索在GAA-FET制備過程中多層納米薄膜的厚度、應力、界面起伏、橫向刻蝕和溝道載流子遷移率等關鍵參數的量測技術，形成一套具有重大產業(yè)應用前景的專業(yè)高端拉曼光譜設備。
