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工藝節(jié)點

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  • 半導(dǎo)體工藝（二）

    半導(dǎo)體工藝上世紀末開始飛速發(fā)展，實際上由于集成電路的發(fā)明，集成電路工藝成為半導(dǎo)體工藝的主角。其發(fā)展軌跡也印證了摩爾定律，180nm、130nm、90nm、65nm、40nm、28nm、16nm等一路發(fā)展，將其稱為技術(shù)節(jié)點，是ITRS(國際半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展藍圖)根據(jù)工藝技術(shù)的發(fā)展制定的，2010年開始提出“等效擴展”(而不是幾何擴展)。