擴(kuò)展電阻技術(shù)(spreading resistance profile,SRP)由于其優(yōu)越的空間分辨率越來越廣泛地應(yīng)用在外延片和IC 圖形片測(cè)試中。SRP 技術(shù)既可以測(cè)量外延片縱向電阻變化,也可以測(cè)量外延層厚度、過渡區(qū)及夾層寬度等。四探針最小的測(cè)量體積約為5 ×10-8 cm3,而最新發(fā)展的擴(kuò)展電阻
是德科技創(chuàng)新技術(shù)峰會(huì)來襲,報(bào)名領(lǐng)好禮
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