在光通信、量子計算及高精度光譜分析領域,硅基光電探測器憑借其與CMOS工藝兼容、響應速度快等優(yōu)勢成為核心器件。然而,暗電流(無光照時的漏電流)作為制約探測器靈敏度的關鍵因素,其抑制技術直接決定器件性能上限。本文從工藝創(chuàng)新與測試驗證雙維度,系統(tǒng)闡述硅基光電探測器暗電流抑制的前沿進展。
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