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什么是光刻機？它的基本原理是什么？
光刻機(Mask Aligner) 又名:掩模對準(zhǔn)曝光機、曝光系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)等。常用的光刻機是掩膜對準(zhǔn)光刻，所以叫 Mask Alignment System。
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