與會專家對項目取得的研發(fā)成果給予了充分肯定,指出開展極紫外光刻膠的研發(fā)具有戰(zhàn)略眼光,經(jīng)過項目組成員幾年的努力,圓滿地完成了研發(fā)任務(wù),達(dá)到了項目任務(wù)書中規(guī)定的指標(biāo);建立了一支在高檔光刻膠領(lǐng)域的研發(fā)隊伍,為我國的半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展提供了人才支持。
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