北方華創(chuàng)宣布,2020年4月7日,北方華創(chuàng)THEORIS SN302D型12英寸氮化硅沉積設備搬入( Move in)國內集成電路制造龍頭企業(yè)。該設備的交付,意味著國產立式LPCVD設備在先進集成電路制造領域的應用拓展上實現重大進展。
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