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晶圓探針測(cè)試工藝以及相關(guān)設(shè)備介紹
晶圓探針測(cè)試主要設(shè)備有探針測(cè)試臺(tái)，探針測(cè)試機(jī)，探針測(cè)試卡三部分，全部由測(cè)試系統(tǒng)應(yīng)用測(cè)試程序來執(zhí)行測(cè)試。
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