在先進(jìn)器件里,決定結(jié)深和片內(nèi)一致性的往往不是單次高溫峰值,而是整條流程把熱預(yù)算怎樣一點(diǎn)點(diǎn)堆起來。熱預(yù)算累積和退火溫場(chǎng)失配,常常先把電學(xué)分布拉開。
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