由于CCD具有尺寸小、重量輕、功耗低、超低噪聲、動態(tài)范圍較大、線性好、光計量準(zhǔn)確、光譜響應(yīng)范圍寬、幾何結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、工作可靠和耐用等優(yōu)點,因而在工件尺寸測量、工件表面質(zhì)量檢測。
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