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應(yīng)用材料公司推出革命性的針對(duì)FinFET晶體管和3D NAND器件的電子束量測(cè)設(shè)備
21ic訊 全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體、平板顯示和太陽(yáng)能光伏行業(yè)精密材料工程解決方案供應(yīng)商應(yīng)用材料公司，在加利福尼亞州圣何塞舉行的國(guó)際光學(xué)工程學(xué)會(huì)(SPIE)先進(jìn)光刻技術(shù)大會(huì)上，推出了業(yè)界首款在線(xiàn)3D掃描電子線(xiàn)寬量測(cè)系統(tǒng)，成
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