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晶圓缺陷圖為何總比電測樂觀？邊緣排除為何會掩掉真失效？
產(chǎn)線里最讓人誤判趨勢的情況之一，就是光學(xué)缺陷圖看上去還算平靜，電測卻已經(jīng)開始掉點。很多時候不是檢測設(shè)備失靈，而是采樣和統(tǒng)計口徑本身把真正危險的區(qū)域淡化了。
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