在7nm及以下制程的納米級芯片中,供電網(wǎng)絡(luò)(PDN)的阻抗控制已成為制約芯片性能的核心瓶頸。某5nm SoC在3.3V供電下,因PDN阻抗超標(biāo)導(dǎo)致核心電壓波動超過±5%,觸發(fā)芯片降頻保護(hù)機(jī)制。本文提出基于0.5mΩ目標(biāo)阻抗的PDN協(xié)同仿真流程,結(jié)合埋入式電源軌(BPR)、納米硅通孔(nTSV)及片上電容(MIMCAP)技術(shù),實(shí)現(xiàn)PDN阻抗降低80%以上的效果。
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