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基于MEMS的硅微壓阻式加速度傳感器的設(shè)計(jì)
硅微加速度傳感器是。MEMS器件中的一個(gè)重要分支，具有十分廣闊的應(yīng)用前景。由于硅微加速度傳感器具有響應(yīng)快、靈敏度高、精度高、易于小型化等優(yōu)點(diǎn)，而且該種傳感器在強(qiáng)輻射
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