硬烘培是在掩模工藝中的第二個熱處理操作。它的作用實質(zhì)上和軟烘培是一樣的,通過溶液的蒸發(fā)來固化光刻膠。然而,對于硬烘培,其唯一的目標(biāo)是使光刻膠和晶圓表面有良好的黏結(jié),這個步驟有時稱為刻蝕前烘培。
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