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離子加速

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芯片制造關鍵，國產高能離子注入機成功實現(xiàn)百萬電子伏特高能離子加速

6月30日消息新華社報道，中國電子科技集團宣布，由該集團旗下電科裝備自主研制的高能離子注入機成功實現(xiàn)百萬電子伏特高能離子加速，性能達到國際先進水平。獲悉，離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。在芯片制造

充電吧
2020-07-16

離子注入機離子加速