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硅壓阻壓力傳感器優(yōu)化設計
摘 要 ：采用硅壓阻敏感芯體制作的傳感器具有較高的精度和較好的長期穩(wěn)定性，被廣泛運用于壓力傳感器中。但普通的硅壓阻敏感芯體在測量發(fā)動機儀器艙內(nèi)氣體壓力和頭罩部位氣體壓力時，出現(xiàn)了信號跳變的異?，F(xiàn)象。通過對硅壓阻敏感芯體工作原理進行分析，以及對敏感芯體充油工藝的分析，發(fā)現(xiàn)普通敏感芯體信號跳變是由于芯體在振動和低氣壓復合環(huán)境下內(nèi)部硅油出現(xiàn)了空化現(xiàn)象。可選擇采用高真空的硅壓阻敏感芯體來杜絕芯體內(nèi)部硅油空化現(xiàn)象的發(fā)生，試驗證明，該方法可有效解決信號跳變這一問題。
