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晶圓缺陷圖為何總比電測(cè)樂(lè)觀？邊緣排除為何會(huì)掩掉真失效？
產(chǎn)線里最讓人誤判趨勢(shì)的情況之一，就是光學(xué)缺陷圖看上去還算平靜，電測(cè)卻已經(jīng)開(kāi)始掉點(diǎn)。很多時(shí)候不是檢測(cè)設(shè)備失靈，而是采樣和統(tǒng)計(jì)口徑本身把真正危險(xiǎn)的區(qū)域淡化了。
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