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表面冗余物

我要報錯

  • 晶圓的缺陷與成因

    晶圓分為無圖案晶圓(Bare Wafer)和圖案晶圓(Patterned wafer)?？紤]兩種晶圓的缺陷類型的出發(fā)點有些不同。晶圓表面的缺陷類型很多，既有可能是工藝產生也有可能材質本身的缺陷。