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晶圓金屬污染為何洗不干凈？顆粒為何會在干燥后再落回去？
濕法清洗最容易產(chǎn)生錯覺的地方，是出槽時表面看起來已經(jīng)發(fā)亮，就以為污染已經(jīng)真正離開晶圓。對金屬離子和微粒而言，清洗、漂洗和干燥其實(shí)是一條連續(xù)的再分配過程，稍有失配就會把污染重新送回表面。
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