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晶圓鍵合為何總冒隱形空洞？表面活化為何過站就失效？
晶圓鍵合最容易誤導(dǎo)人的地方，在于初始接觸看起來已經(jīng)貼上了，但真正決定界面強(qiáng)度的是那條接觸前沿能否穩(wěn)定擴(kuò)展，以及表面活化狀態(tài)有沒有在等待中悄悄回落。隱形空洞和活化失效，通常是一前一后連續(xù)發(fā)生的。
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