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技術(shù)奇跡！EUV光刻機(jī)被美國(guó)限制出口的真相
EUV光刻機(jī)是一項(xiàng)技術(shù)奇跡。 一臺(tái)發(fā)生器每秒噴射出5萬個(gè)微小的熔錫液滴，高功率激光對(duì)每個(gè)液滴進(jìn)行兩次爆破，第一次可以使錫成形，第二次是使錫蒸發(fā)成等離子體。 等離子體發(fā)出極紫外光輻射，這種輻射聚集成光束
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