0 引 言壓力傳感壓器是使用最為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機械結構型的器件為主,以彈性元件的形變指示力,但這種結構尺寸大、質量輕,不能提供電學輸出。隨著半導體技術的發(fā)展,半導體壓力傳感器也應
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