MEMS傳感器在高頻振動監(jiān)測中的關(guān)鍵技術(shù)研究

在當前工業(yè)4.0與智能制造蓬勃發(fā)展的背景下，設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測與故障預測已成為保障生產(chǎn)安全、提升運行效率的核心環(huán)節(jié)。高頻振動監(jiān)測作為設(shè)備健康評估的關(guān)鍵技術(shù)，其精度與實時性直接影響著維護決策的可靠性。MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器憑借微型化、集成化、高靈敏度等優(yōu)勢，在高頻振動監(jiān)測領(lǐng)域展現(xiàn)出獨特的技術(shù)價值。本文將圍繞MEMS傳感器在高頻振動監(jiān)測中的關(guān)鍵技術(shù)展開深入研究，探討其技術(shù)原理、性能優(yōu)化及行業(yè)應用。