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3d檢測

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  • 白光干涉儀可實現(xiàn)亞微米精度3D檢測

    白光干涉儀可應(yīng)用于半導(dǎo)體、攝像頭、線路板、顯示面板等行業(yè)。在3D檢測領(lǐng)域，白光干涉儀是精度最高的測量儀器之一。在同等系統(tǒng)放大倍率下，其檢測精度和重復(fù)精度都高于傳統(tǒng)的檢測方法。甚至在一些納米級和亞納米級的超精密加工領(lǐng)域，只有白光干涉儀能夠達(dá)到檢測的精度要求。