功率器件作為半導體產業(yè)的重要組成部分,擁有非常廣泛的技術分類以及應用場景。例如,傳統的硅基二極管、IGBT和MOSFET等產品經過數十年的發(fā)展,占據了絕對領先的市場份額。不過,隨著新能源汽車、數據中心、儲能、手機快充等應用的興起,擁有更高耐壓等級、更高開關頻率、更高性能的新型SiC、GaN等第三代半導體功率器件逐漸嶄露頭角,獲得了業(yè)界的持續(xù)關注。
21ic訊—2015年7月13日消息,應用材料公司今天宣布推出全新的Olympia™原子層沉積(atomic layer deposition, ALD)系統。該系統采用獨特的模塊化架構,為先進3D內存和邏輯芯片制造商帶來了高性能ALD技術。3