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美國(guó)開發(fā)新一代BAT激光器：遠(yuǎn)超現(xiàn)有EUV光刻 效率提升10倍！
1月6日消息，美國(guó)勞倫斯利弗莫爾國(guó)家實(shí)驗(yàn)室(LLNL)正在研究一種效率比傳統(tǒng)CO2 EUV激光器高10倍的激光器，這將為下一代EUV光刻技術(shù)發(fā)展奠定基礎(chǔ)。
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