0 引言硅電容壓力傳感器是利用硅基材料, 應用電容原理, 采用MEMS 工藝制作的一類新型壓力傳感器。因其具有穩(wěn)定性好, 非線性和可靠性優(yōu)越的性能被廣泛用于工業(yè)控制和測量
在實驗的基礎上,提出一種設計差動電容傳感器調理電路的新方法,引入AMG公司開發(fā)的將電容信號轉換成電壓信號的集成電路CAV424,以及CAV424在傾角傳感器中的應用。另外,結合實例給出系統(tǒng)各部分的詳細硬件原理圖。
CAV424傾角傳感矗的檢測系統(tǒng)設計
《21ic技術洞察》系列欄目第二期:工業(yè)自動化中的AI視覺系統(tǒng)
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