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國產(chǎn)“光刻廠”落地？官方正式回應(yīng)！
近日，網(wǎng)傳清華大學(xué)的國產(chǎn) EUV 方案通過用“空間”換“時間”的方式，通過將光刻機放大為光刻廠的方案來規(guī)避技術(shù)難點，實現(xiàn)“換道超車”。對此，昨天下午中國電子工程設(shè)計院官方表示，該項目并非網(wǎng)傳的國產(chǎn)光刻機工廠，而是北京高能同步輻射光源項目(HEPS)。
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