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Advanced Energy 推出適用于工藝反應(yīng)腔室清洗系統(tǒng)的MAXstream遠程等離子體源產(chǎn)品系列
Advanced Energy 一直是工藝設(shè)備電源技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者，這系列全新的遠程等離子體源產(chǎn)品在原有的基礎(chǔ)之上再將技術(shù)進一步提升，例如新產(chǎn)品可確保半導(dǎo)體工藝設(shè)備在多種不同流速的情況下仍能保持操作穩(wěn)定，而生產(chǎn)力也有進一步的改善
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