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美國倫斯勒理工學(xué)院開發(fā)新式液體鏡頭有可能幫助改進(jìn)浸沒式光刻設(shè)備
美國倫斯勒理工學(xué)院最近開發(fā)出一種新式液體鏡頭，能通過超小型的微流體活塞、以電氣方式調(diào)整焦距，不須外加零件。此前，液體鏡頭已經(jīng)被應(yīng)用在浸沒式光刻設(shè)備，用以提升光刻分辨率，使得目前的CMOS工藝得以繼續(xù)向90納
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