上個世紀80年代初Brewer Science發(fā)明了Anti-Reflective Coatings(防反射涂層,簡稱“ARC®”)材料,由此革新了光刻工藝,Brewer Science一直致力于通過技術創(chuàng)新不斷推動摩爾定律向前發(fā)展。
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