三星重申計畫在今年下半年開始使用EUV微影技術(shù)實現(xiàn)量產(chǎn)的計劃,它將采用其7nm Low Power Plus制程進(jìn)行制造。三星預(yù)計將成為第一家將業(yè)界多年來寄予厚望的EUV投入商業(yè)化生產(chǎn)的晶片制造商。臺積電和Globalfoundries宣布計畫于2019年開始使用EUV進(jìn)行商業(yè)化生產(chǎn)。
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