1、  引言

IGBT及其派生器件，例如：IGCT，是MOS和雙極集成的混合型半導(dǎo)體功率器件。因此，IGBT的失效模式，既有其子器件MOS和雙極的特有失效模式，還有混合型特有的失效模式。MOS是靜電極敏感器件，因此，IGBT也是靜電極敏感型器件，其子器件還應(yīng)包括靜電放電（SED）防護(hù)器件。據(jù)報(bào)道，失效的半導(dǎo)體器件中，由靜電放電及相關(guān)原因引起的失效，占很大的比例。例如：汽車(chē)行業(yè)由于失效而要求退貨的器件中，其中由靜電放電引起的失效就占約30%。

本文通過(guò)案例和實(shí)驗(yàn)，概述IGBT及其子器件的四種失效模式：

（1）       MOS柵擊穿；

（2）       IGBT——MOS閾值電壓漂移；

（3）       IGBT壽命期內(nèi)有限次連續(xù)短路脈沖沖擊的累積損傷；

（4）       靜電放電保護(hù)用高壓npn管的硅熔融。

2、  MOS柵擊穿

IGBT器件的剖面和等效電路見(jiàn)圖1。

由圖1可見(jiàn)，IGBT是由一個(gè)MOS和一個(gè)npnp四層結(jié)構(gòu)集成的器件。而MOS是金屬—氧化物—半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)管的簡(jiǎn)稱(chēng)。其中，氧化物通常是硅襯底上氧化而生成的SIO2，有時(shí)還迭加其他的氧化物層，例如Si3N4，Al2O3。通常設(shè)計(jì)這層SiO2的厚度ts：

微電子系統(tǒng)：ts<1000A電力電子系統(tǒng)：ts≥1000A。

SiO2，介質(zhì)的擊穿電壓是1×1019V/m。那么，MOS柵極的擊穿電壓是100V左右。

人體產(chǎn)生的靜電強(qiáng)度U：

濕度：10-20%，U＞18000V；60-90%時(shí)，U≥1500V。

上述數(shù)據(jù)表明，不附加靜電保護(hù)的MOS管和MOS集成電路（IC），只要帶靜電的人體接觸它，MOS的絕緣柵就一定被擊穿。

案例：上世紀(jì)六十年代后期，某研究所研制的MOS管和MOS集成電路。不管是安裝在印刷電路板上還是存放在盒中的此種器件，都出現(xiàn)莫名其妙的失效。因此，給MOS一個(gè)綽號(hào)：摸死管。

如果這種“摸死”問(wèn)題不解決，我國(guó)第一臺(tái)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MOS集成電路微型計(jì)算機(jī)就不可能在1969年誕生。經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的困惑，開(kāi)始懷疑靜電放電的作用。為了驗(yàn)證，準(zhǔn)備了10支柵極無(wú)任何防護(hù)的MOS管，用晶體管特性測(cè)試儀重新測(cè)試合格后，即時(shí)將該器件再往自己身上摩擦一下再測(cè)特性，結(jié)果發(fā)現(xiàn)：100%柵擊穿！隨后，在MOS管的柵極一源極之間反并聯(lián)一個(gè)二極管，問(wèn)題就基本解決。意外的結(jié)果：“摸死管”成了一句引以為戒的警語(yǔ)。該研究所內(nèi)接觸和應(yīng)用MOS管MOS-IC的同事，對(duì)靜電放電對(duì)器件的破壞性影響都有了深刻的體驗(yàn)。

3、  IGBT——MOS閾值電壓漂移——一種可能隱藏的失效模式

MOS管的閾值電壓Vth的方程式：

               （1）

式中VSS=表面態(tài)閾值電壓，Vhh =本征閾值電壓，

常數(shù)

(費(fèi)米勢(shì))，N=硅襯底雜質(zhì)濃度。

圖2是柵電壓VG和柵電容CO的C—V曲線(xiàn)，曲線(xiàn)上的箭頭表時(shí)掃描方向。

由圖2可見(jiàn)。C—V曲線(xiàn)是一條遲滯回路，該回路包絡(luò)的面積等于表面態(tài)電荷，QSS是由Si—SiO2界面缺陷和正電荷離子引起的。而且，Si—SiO2界面的QSS始終是正的。即VSS總是向VITH正向移動(dòng)。這就決定了溝增強(qiáng)型MOS管和P溝數(shù)字集成電路容易實(shí)現(xiàn)。

為了減小QSS和防止SiO2——Si界面電荷交換與移動(dòng)，引起閾值電壓漂移，采取了許多措施：

（1）       將<111>硅襯底換為<100>硅襯底，減小硅表面的非飽和鍵；

（2）       制備工藝中使用的石英器皿，氣體和化學(xué)試劑均提升純度級(jí)別，盡量減小Na離子的污染含量；

（3）       研發(fā)新的絕緣柵介質(zhì)系列：

·Si3N4——Si，Si3N4——SiO2——Si；

·Al2O3——Si，Al2O3——SiO2——Si。

    以上措施，對(duì)低壓微功耗的微電子的應(yīng)用，已證明MOS與MOSIC是可靠的。但是對(duì)于電力電子應(yīng)用的場(chǎng)合：高電壓，大電流和工作溫度范圍較寬。特別是，靜電放電電壓接近柵極擊穿電壓而又未穿柵極時(shí)，例如上文所示接近100V時(shí)，仍有隱憂(yōu)：

（1）       較高柵電壓下，閾值電壓漂移較大，圖3示出P溝硅柵MOS在高柵電壓下的。由圖3可見(jiàn)，柵電壓VG=40V時(shí)，=4V。

（2）       PT—IGBT在高溫柵偏壓下閾值電壓漂移。圖4給出PT—IGBT（IRG4BC20F）在（1）柵已射極Gge=20V，Vce=OV（HTGB）和（2）Vge=0V，Vce=0.8V(HTRB)在140℃，經(jīng)過(guò)1200小時(shí)的應(yīng)力試驗(yàn)結(jié)果。由圖4中的HTGB曲線(xiàn)可見(jiàn)，柵偏置試驗(yàn)開(kāi)始后100小時(shí)內(nèi)，時(shí)線(xiàn)性增加，隨后趨于穩(wěn)定。

（3）       電可擦只讀存貯器（electrically erasable read-only memory，簡(jiǎn)稱(chēng)EEROM）的存貯單元是氮化硅（Si3N4）—二氧化硅(SiO2)構(gòu)成的雙層絕緣柵的MOS管，它利用柵極注入電荷來(lái)改變ROM存貯單元的狀態(tài)。

（4）       MOS是一種單極，多數(shù)載流子器件，按半導(dǎo)體器件理論，它的抗輻射，主要是抗γ射線(xiàn)的能力應(yīng)該比雙極、少數(shù)載流子器件強(qiáng)，但是，實(shí)際情況剛相反。這說(shuō)明MOS的絕緣柵結(jié)構(gòu)在輻射場(chǎng)下有較大的損傷和電荷交換。

（5）       以上4種情況說(shuō)明，MOS閾值電壓漂移在電力電子的應(yīng)用條件，即高電壓（接近柵擊穿電壓）、大電流和高溫（接近pn結(jié)臨界溫度150℃）時(shí)，是一種導(dǎo)致器件和電路失效的潛在參數(shù)，似乎仍需系統(tǒng)考察和修訂老化條件。所以，將稱(chēng)作是一種可能隱藏的失效模式。

4、  IGBT壽命期限內(nèi)，有限次數(shù)短路脈沖沖擊的累積損傷失效

      在壽命期限內(nèi)，IGBT會(huì)遇到在短路、雪崩等惡劣條件下工作，它能承受短路脈沖沖擊的次數(shù)是有限的，并和相關(guān)條件有關(guān)。

4.1非穿通型（NPT）IGBT的魯棒性

NPT—IGBT的魯棒性見(jiàn)圖5，被測(cè)器件是SGW15N120。在540V 125℃時(shí)測(cè)試。X軸是耗散的能量。Y軸是器件直至損壞的短路周期次數(shù)。

由圖5可見(jiàn)，在給定條件下，器件有一個(gè)臨界能量：

EC=V·I·TSC=1.95J（焦耳）

式中，TSC是短路持續(xù)時(shí)間

當(dāng)E>EC時(shí)，，第一次短路就使器件失效。

當(dāng)E<EC時(shí)，大約要經(jīng)歷104次短路以上，器件會(huì)因周期性的能量累積退化使它失效。

當(dāng)E=EC時(shí)，器件失效模式不明確。當(dāng)能量等于或稍等于EC時(shí)，器件關(guān)斷后，器件的拖尾電流，經(jīng)過(guò)一段延遲時(shí)間td f ，將導(dǎo)致熱擊穿。這段延緩性失效時(shí)間為微秒級(jí)。

圖6給出不同短路續(xù)時(shí)間TSC，IGBT測(cè)量的短路電流波形。

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