硅光子技術是在硅材料的基礎上,利用現(xiàn)有CMOS工藝進行光器件的開發(fā)和集成的新一代技術, 其肇始于1985 年 Richard Scoref 等人提出的理論——單晶硅可以作為光波導材料,可用于微電子應用同時實現(xiàn)光信號傳遞。
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