泛林集團(tuán)的濕法清洗優(yōu)化幫助芯片制造商提升設(shè)備性能

“濕法清洗”一詞源自行業(yè)早期的預(yù)防性維護(hù)方式，即拆卸反應(yīng)腔室并將石英部件浸入酸水沖洗，之后再晾干并重新組裝。如今對(duì)于需要高精度維護(hù)的設(shè)備而言，其中唯一涉及“濕”的常用物質(zhì)便是去離子水濕潤(rùn)過(guò)的無(wú)絨布，不過(guò)“濕法清洗”這個(gè)傳統(tǒng)稱(chēng)謂卻被沿用至今。所以，維護(hù)方式被稱(chēng)為“濕法”，但實(shí)際上卻是“干法”。