預防性維護

稱之為“濕法”實為“干法”，這聽起來像謎語，但對于等離子體工藝設備來說，答案就是“濕法清洗”，一種重要的預防性維護方式。

“濕法清洗”一詞源自行業(yè)早期的預防性維護方式，即拆卸反應腔室并將石英部件浸入酸水沖洗，之后再晾干并重新組裝。如今對于需要高精度維護的設備而言，其中唯一涉及“濕”的常用物質便是去離子水濕潤過的無絨布，不過“濕法清洗”這個傳統(tǒng)稱謂卻被沿用至今。所以，維護方式被稱為“濕法”，但實際上卻是“干法”。

預防性維護的目標是保持設備的正常運行和盡量減少任何計劃外的停機，因為這種停機一般會嚴重擾亂生產、會導致較高的成本以及生產損失。如同一輛汽車，定期更換發(fā)動機油是最大限度延長汽車使用壽命和提升性能的關鍵。在刻蝕數千片晶圓的過程中，被去除材料的聚合物會在等離子體腔室的表面聚集。

我們需要處理這樣的聚集物，一是因為它們可能成為污染源；二是它們有可能改變腔室內的感應或電導，由此影響等離子體的工藝。聚集物的處理主要依賴成熟的等離子清潔循環(huán)過程，但某些時候也需要定期對腔室進行預防性維護。

這種預防性維護的步驟數量和精度要求已有大幅提升。在2000年，整個維護過程只包含約35個步驟，如今的步驟數量已經超過150個，且對精度的要求也高很多。如此繁雜的維護過程和高精度需求致使維護失敗率通?？筛哌_30%，這不僅意味著生產損失，還會造成備件和測試晶圓的損耗，以及由此帶來的成本大幅提升。

濕法清洗優(yōu)化

為解決上述問題，泛林推出了名為“濕法清洗優(yōu)化”(WCO)的服務，用于消除人為差異和提高預防性維護的成功率。如今WCO已經在全球被應用于大量的刻蝕和沉積腔室，幫助多個客戶解決問題，例如提升產量以及大幅減少支出浪費等。

作為整體解決方案，WCO涵蓋了專業(yè)設備、本地化多媒體分步說明、數據分析和專家支持（診斷維護問題和推動持續(xù)改進）。

專業(yè)設備

使用合適的設備可大幅提升生產力和效率并保護人員安全。WCO服務包可確?？蛻裟茈S時隨地獲得所需要的標準和定制設備。

多媒體分步操作說明

預防性維護團隊往往面臨的一大挑戰(zhàn)就是維護人員的更換（18個月的流動率可高達 100%），在這種情況下，分步驟程序說明和方便參照的操作文件就顯得非常重要。

數據分析

這是WCO的一個關鍵組成部分，作用是將濕法清洗數據轉化為可以使用的信息。推動持續(xù)改進的一大關鍵就在于通過高質量分析確定最需要改進的領域，并且測量和量化這些改進方法。

專家支持

由專業(yè)工程師推動問責、調查問題并推動系統(tǒng)性改進。

應用場景

我們將通過以下應用場景的介紹幫助大家更好地了解WCO的作用。

芯片制造商 A 在使用濕法清洗其等離子刻蝕設備時遇到性能表現無法預測的問題，且已經影響到設備的可用性。晶圓廠經理明白問題的原因是員工流動率高，但他無法通過內部培訓或其他行動來改善當前的情況。在引入泛林的WCO之后，本地化分步操作視頻可以幫助新員工快速了解情況，很快就實現了濕法清洗穩(wěn)定的高性能表現。濕法清洗的耗時和設備的計劃外停機有所減少，設備的正常運行時間和良率也因此得到改善。

芯片制造商 B 正在使用一個新類型的腔室進行良率爬坡并希望盡快實現高生產率。通過引入WCO提供的最佳方式，B的工作人員很快就掌握了操作要領，維護時間的差異降低，新的腔室快速實現了持續(xù)穩(wěn)定的正常運行。

總結

WCO是一項能幫助客戶自行成功完成預防性維護的方法。該整體方案融合了泛林的專有軟件、數據分析和經過認證的清潔程序（含視頻指導）。另外，WCO也是泛林集團Equipment Intelligence®的一部分， 后者是泛林基于其設備經驗和數據打造的綜合性生產力解決方案。